高压分析仪 HPA 220在压力范围高达 50 hPa 下的气体分析
高压分析仪 HPA 220 是一个模块化、灵活实用的质谱仪系统，它带有一个干式涡轮分子泵组，可用于在压力高达 50 hPa 的真空中进行气体分析。根据 HPA 220 的用途，有五种不同电动气动以及手动操作的进气口阀可供选择。
产品优势
● 由于其 5 种手动、电动气动操作的进气口选择，使得它在压力高达 50 hPa 压下为分析、监测和控制过程提供了很大的灵活性
● 通过各种数字和模拟输入和输出，使系统集成方便而灵活
● 多重操作允许多个质谱仪 系统只用一台电脑进行数据评估
● 紧凑的尺寸实现灵活的集成
典型应用
● 在 1 · 10-7 至 50 hPa 的压力范围内进行真空工艺的分析、监测和控制
● 真空镀膜系统的制造商和操作员
● 半导体生产
● 光刻
● 冶金
● 真空炉
● 研发
