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TRsacn非接触式微观形貌测量仪

Trimos TRscan非接触式微观形貌测量仪,全自动共焦三维测量。专用于刀具制造工业,根据多点谱线共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自动聚焦,快速获得刀具表面三维形貌,采用此次多点谱线共焦传感器和图像处理系统,可以对各种复杂的刀刃及其模具进行准确的测量,具有完善的分析功能模块,对其表面形貌进行轮廓、面积、体积、粗糙度、截面等测量。

Trimos  TRscan非接触式微观形貌测量仪,全自动共焦三维测量。专用于刀具制造工业,根据多点谱线共焦,一次入射200束光到工件表面,在每束光路上自动聚焦,快速获得刀具表面三维形貌,采用此次多点谱线共焦传感器和图像处理系统,可以对各种复杂的刀刃及其模具进行准确的测量,具有完善的分析功能模块,对其表面形貌进行轮廓、面积、体积、粗糙度、截面等测量。

 

主要特点:

  • 强大的多点共焦技术,准确的测量出表面形貌数据(角度、半径、轮廓、粗糙度)

  • 通过光学方式测量Ra、Rq、Rz等粗糙度参数

  • 测量速度快,可整合成一个高效的在线测量系统

  • 适用于陡峭的斜面,爬坡角度高达85度

  • 垂直分辨率高达30nm

  • TRSCAN是唯一可同时获得表面形貌和真实颜色信息的3D测量设备,测量更加精确灵活

  • 通过脚本自动测量,更适用于批量测量,并生成图形或数字报告

  • 粗糙度和轮廓测量符合国际公认EN/ISO4287标准

  • 可用于选定区域的面积及体积计算

  • 可选配转台,实现三维扫面

  • 可用于复杂几何外形的形状分析,可测量角度、半径等表面特征

技术参数:

 

工作台移动范围X  100mm
 工作台移动范围Y  固定式
 工作台移动范围Z  240mm
 XYZ轴位移量 0.1μm 
 XYZ轴定位精度  1μm
 XY轴导轨直线度  1.5μm
 工件重量 20kg 
 测量原理 非接触式多点谱线共焦传感器 
 光源  白色LED共轴光,高强光,数字可控
 色谱共焦传感器  CLS0.2  CLS1  CLS4
 线宽  0.96mm  1.92mm  4.8mm
 工作距离  5.3mm 18.2mm  39mm 
 光斑间隙 5μm 10μm  25μm 
 光斑大小  2μm 4μm  10μm 
 爬坡坡度  ±44deg   ±33deg   ±20deg
 测量范围  200μm 950μm  4mm 
 轴向分辨率 30nm  120nm  500nm 
 精度  90nm 360nm  1.5μm 
 厚度分辨率 15μm  70μm  300μm 
 测量厚度